微型真空探針臺(tái)是一個(gè)低成本不需要低溫制冷劑的探針臺(tái)，它可以對(duì)器件進(jìn)行非破壞性的測(cè)試，它可以對(duì)材料或器件的電學(xué)特性測(cè)量、光電特性測(cè)量、參數(shù)測(cè)量、high Z測(cè)量、DC測(cè)量、RF測(cè)量和微波特性測(cè)量提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)。

　　x-y向工作臺(tái)是微型真空探針臺(tái)中核心的部分，該產(chǎn)品的故障很多是維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的，所以對(duì)該產(chǎn)品的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。

　　平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開(kāi)，定子是基礎(chǔ)平臺(tái)， 動(dòng)子和定子間有一層氣墊，動(dòng)子浮于氣墊上，而可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)，由于動(dòng)子和定子間無(wú)相對(duì)摩擦故無(wú)磨損，使用壽命長(zhǎng)。

　　而定子在加工過(guò)程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計(jì)要求如分辨力等，用機(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個(gè)線槽，線槽間的距離即稱(chēng)為平面電機(jī)的齒距，而定子則按不同的細(xì)分控制方式，按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和動(dòng)子之間的氣墊才能實(shí)現(xiàn)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)。對(duì)定子的損傷將直接影響工作臺(tái)的步進(jìn)精度及設(shè)備使用壽命，損壞嚴(yán)重將造成設(shè)備無(wú)法使用而報(bào)廢。

　　由于平面電機(jī)的定子及動(dòng)子是*暴露在空氣中，所以潮濕的環(huán)境及長(zhǎng)時(shí)期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象，另外重物的碰撞及堅(jiān)銳器物的劃傷都將對(duì)定子造成損傷，而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命，對(duì)于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個(gè)方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個(gè)過(guò)程操作要十分地細(xì)心，不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒(méi)有腐蝕性，不損壞定子的除銹劑除銹。

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